一，产品概述

E4991B 阻抗分析仪具有 1 MHz 至 3 GHz 的频率范围，可在宽阻抗范围内提供 0.65% 的基本精度，并且内置 40 V 直流偏置源（选件 001）。等效电路分析功能支持 7 种不同的多参数模型，可帮助您仿真元器件的等效参数值。

3 种频率选件（1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz）以及频率升级选件使您可以根据当前的投资额度选购更适合的选件。

材料测量选件提供温度特征分析功能（选件 007），并能够直接得到介电常数和导磁率的读数（选件 002）。

探头台连接套件（选件 010）可以在高达 3 GHz 的频率范围内提供精确的晶圆上或微型元器件阻抗测量解决方案。

E4991B 支持多款测试附件，让测量变得简单而可靠。

无论您是从事研发、质保还是质检工作，E4991B 都可以帮助您出色地表征和测试电子元器件、半导体器件和材料。

在材料测量方面，E4991B 与 N1500A-005 材料测量套件相结合，能够非常容易地完成从设置夹具到生成报告的整个测量过程（高达 1 GHz）。

 

二，设计指标

• 3 种频率选件：1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz，可升级

• ±0.65% 基本精度和 120 mΩ 至 52 kΩ 阻抗范围（10% 测量精度范围）

• 测量参数：|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc¹、Idc¹（1. 需要选件 001）

• 内置直流偏置（选件 001）：0 V 至 ±40 V，0 A 至 ±100 mA

• 10.4 英寸彩色 LCD 触摸屏可显示 4 个通道和 4 条迹线

• 数据分析功能：等效电路分析、极限线测试

• 介电/磁性材料测量（选件 002）：|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)

• 提供温度特征测量（选件 007）和可靠的晶圆上测量（选件 010）