奕叶探针台BD系列

一、显微镜操控规格:

l 在探针台右侧有大摇杆，提起90度后，可以使显微镜快速倾仰抬起，方便在测试时更换物镜镜头。

l 显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在x-y方向的移动，移动范围2"X2"，精度1μm。

l 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm。

二、台面规格:

l 探针台台面平整度：5μm

l 探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择

l 探针台右上方有转轮摇杆，摇动时可使台面线性上下升降，升降范围25mm，精度1μm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的复位

三、卡盘（载物台，即图中的chuck）规格:

l 6" 卡盘，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径250μm-1mm（可根据客户需求定制孔径大小），最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，最大能够吸住尺寸为6"X6"

l 卡盘可360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋

l 卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为6"X6"，移动精度为1μm，为方便点测的稳定性，带有锁住功能。如果点测6"wafer的时候，可以保证6"wafer的每一点都能够点测到

四、总体规格：

 重量：50kg（含显微镜）

尺寸：590mm宽*500mm长*700mm高（含显微镜）

优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作

五、性能

l 镀金真空吸附卡盘: 对应可选4" ，6"，8"，12"产品

l 大旋钮移动卡盘台，X-Y方向行程：6"-6"

l 卡盘快速拉出装置便于放置/拿去样品

l 线性无回差调节

l 台面快速升/降行程：6mm，精调升/降行程：25mm

l 样品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盘平整度: 10um

l 卡盘旋转角度：0~360°

l Chuck Theta: ±15

l 大旋钮滑台X-Y方向精度: 1um

l 台面上/下升降摇杆/旋钮

l 显微镜倾仰装置

六、附件

l 显微镜倾仰装置

l 射频测试探头/电缆

l 有源探头

l 低电流/电容测试

l 高压测试

l 激光修复

l CCD/数字相机，USB接口

l 探针卡/封装/PCB板夹具

l 加热装置

l 防震桌

l 屏蔽箱

l 显微镜暗场/Normarski 检测