奕叶探针台EB系列

一、显微镜操控规格

l 显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在x-y方向的移动，移动范围2"X2"，精度1μm。

l 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦，细旋钮方便精确调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度10μm。

二、台面规格

l 探针台台面平整度：5μm。

l 探针台台面为固定台面。

三、卡盘（载物台，即图中的chuck）规格

l 6" 卡盘，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径 250μm-1mm（可根据客户需求定制孔径大小），最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，最大能够吸住尺寸为6"X6"。

l 卡盘可360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋钮。

l 卡盘座有小摇杆，提起90度后，可以使卡盘快速线性上升4mm，在做wafer点测时方便快速移动点测位置，同时做普通die或者decap后芯片点测时，方便快速更换样品。

l 卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为6"X6"，移动精度为10μm，为方便点测的稳定性，带有锁住功能如果点测6"wafer的时候，可以保证6"wafer的每一点都能够点测到。

四、性能

l 真空吸附卡盘：对应可选4" ，6"，8"，12"产品

l 卡盘X-Y方向精确线性移动行程：6"-6"

l 线性无回差调节

l 卡盘上/下移动行程：4mm

l 4", 6", 8", 12" 晶圆 (晶圆尺寸)

l 样品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盘平整度: 10um

l 卡盘旋转角度：0~360°

五、附件

l 显微镜倾仰装置

l 镀金卡盘

l 射频测试探头/电缆

l 有源探头

l 低电流/电容测试

l 高压测试

l 激光修复

l CCD/数字相机，USB接口

l 探针卡/封装/PCB板夹具

l 加热装置

l 防震桌

l 屏蔽箱